RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見故障有（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

伺服工作時(shí)，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

下列各種設(shè)備型號(hào)中，屬于焊接變位機(jī)的是（）。

下列各項(xiàng)，不屬于工業(yè)中常用的機(jī)器視覺系統(tǒng)上位機(jī)的是（）。

步進(jìn)電機(jī)上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會(huì)造成電機(jī)轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

工業(yè)機(jī)器人對(duì)安裝環(huán)境的要求有（）。

當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動(dòng)軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時(shí)，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動(dòng)指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實(shí)現(xiàn)。

從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。