單項選擇題刻蝕機的自動化程度主要體現(xiàn)在（）。

A.自動上下料
B.自動控制參數(shù)
C.自動故障診斷
D.以上都是


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1.單項選擇題以下哪種不是影響刻蝕選擇性的因素（）？

A.材料結(jié)構(gòu)
B.刻蝕氣體濃度
C.刻蝕時間
D.刻蝕溫度

2.單項選擇題刻蝕機的分辨率與以下哪個因素無關(guān)（）？

A.光源波長
B.鏡頭質(zhì)量
C.刻蝕氣體種類
D.樣品表面平整度

3.單項選擇題以下哪種刻蝕方法適用于大規(guī)模生產(chǎn)（）？

A.激光刻蝕
B.干法刻蝕
C.濕法刻蝕
D.三者均可

4.單項選擇題以下哪種不是刻蝕機的關(guān)鍵部件（）？

A.真空泵
B.氣體流量計
C.加熱裝置
D.冷卻裝置

5.單項選擇題以下哪種材料對刻蝕的選擇性較高（）？

A.金屬
B.半導(dǎo)體
C.絕緣體
D.有機物