單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的分辨率與以下哪個(gè)因素?zé)o關(guān)（）？

A.光源波長
B.鏡頭質(zhì)量
C.刻蝕氣體種類
D.樣品表面平整度


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1.單項(xiàng)選擇題以下哪種刻蝕方法適用于大規(guī)模生產(chǎn)（）？

A.激光刻蝕
B.干法刻蝕
C.濕法刻蝕
D.三者均可

2.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是刻蝕機(jī)的關(guān)鍵部件（）？

A.真空泵
B.氣體流量計(jì)
C.加熱裝置
D.冷卻裝置

3.單項(xiàng)選擇題以下哪種材料對(duì)刻蝕的選擇性較高（）？

A.金屬
B.半導(dǎo)體
C.絕緣體
D.有機(jī)物

4.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是常見的刻蝕方法（）？

A.干法刻蝕
B.濕法刻蝕
C.激光刻蝕
D.聲波刻蝕

5.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的工作環(huán)境要求（）。

A.高溫高壓
B.高濕度
C.無塵無菌
D.強(qiáng)磁場