單項選擇題以下哪種不是常見的刻蝕方法（）？

A.干法刻蝕
B.濕法刻蝕
C.激光刻蝕
D.聲波刻蝕


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1.單項選擇題刻蝕機的工作環(huán)境要求（）。

A.高溫高壓
B.高濕度
C.無塵無菌
D.強磁場

2.單項選擇題刻蝕機的維護保養(yǎng)重點在于（）。

A.清潔刻蝕腔
B.更換零部件
C.校準儀器
D.以上都是

3.單項選擇題提高刻蝕速率的方法不包括（）。

A.增加刻蝕氣體流量
B.提高溫度
C.降低壓力
D.減小刻蝕面積

4.單項選擇題刻蝕過程中的側壁垂直度主要影響（）。

A.器件性能
B.材料純度
C.生產(chǎn)效率
D.成本

5.單項選擇題刻蝕機的精度主要取決于（）。

A.刻蝕方法
B.刻蝕氣體
C.設備結構
D.控制系統(tǒng)