單項選擇題刻蝕機(jī)的工作環(huán)境要求（）。

A.高溫高壓
B.高濕度
C.無塵無菌
D.強(qiáng)磁場


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1.單項選擇題刻蝕機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)重點在于（）。

A.清潔刻蝕腔
B.更換零部件
C.校準(zhǔn)儀器
D.以上都是

2.單項選擇題提高刻蝕速率的方法不包括（）。

A.增加刻蝕氣體流量
B.提高溫度
C.降低壓力
D.減小刻蝕面積

3.單項選擇題刻蝕過程中的側(cè)壁垂直度主要影響（）。

A.器件性能
B.材料純度
C.生產(chǎn)效率
D.成本

4.單項選擇題刻蝕機(jī)的精度主要取決于（）。

A.刻蝕方法
B.刻蝕氣體
C.設(shè)備結(jié)構(gòu)
D.控制系統(tǒng)

5.單項選擇題濕法刻蝕通常使用的刻蝕劑是（）。

A.強(qiáng)酸
B.強(qiáng)堿
C.鹽溶液
D.有機(jī)溶液