單項(xiàng)選擇題以下哪種材料對(duì)刻蝕的選擇性較高（）？

A.金屬
B.半導(dǎo)體
C.絕緣體
D.有機(jī)物


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1.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是常見的刻蝕方法（）？

A.干法刻蝕
B.濕法刻蝕
C.激光刻蝕
D.聲波刻蝕

2.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的工作環(huán)境要求（）。

A.高溫高壓
B.高濕度
C.無塵無菌
D.強(qiáng)磁場

3.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)重點(diǎn)在于（）。

A.清潔刻蝕腔
B.更換零部件
C.校準(zhǔn)儀器
D.以上都是

4.單項(xiàng)選擇題提高刻蝕速率的方法不包括（）。

A.增加刻蝕氣體流量
B.提高溫度
C.降低壓力
D.減小刻蝕面積

5.單項(xiàng)選擇題刻蝕過程中的側(cè)壁垂直度主要影響（）。

A.器件性能
B.材料純度
C.生產(chǎn)效率
D.成本