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【簡答題】離子注入后為什么要進行退火?
答案:
推進,激活雜質(zhì),修復損傷。
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【簡答題】離子注入前一般需要先生長氧化層,其目的是什么?
答案:
氧化層保護表面免污染,免注入損傷,控制注入溫度。
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【簡答題】例舉出芯片廠中6個不同的生產(chǎn)區(qū)域并對每一個生產(chǎn)區(qū)域做簡單描述。
答案:
芯片廠中通常分為擴散區(qū)、光刻區(qū)、刻蝕區(qū)、離子注入?yún)^(qū)、薄膜生長區(qū)和拋光區(qū)6個生產(chǎn)區(qū)域:
①擴散區(qū)是進行高溫工藝及...
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