問答題

【簡答題】離子注入后為什么要進行退火？

答案： 推進，激活雜質(zhì)，修復損傷。
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問答題

【簡答題】離子注入前一般需要先生長氧化層，其目的是什么？
答案： 氧化層保護表面免污染，免注入損傷，控制注入溫度。
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【簡答題】例舉出芯片廠中6個不同的生產(chǎn)區(qū)域并對每一個生產(chǎn)區(qū)域做簡單描述。
答案： 芯片廠中通常分為擴散區(qū)、光刻區(qū)、刻蝕區(qū)、離子注入?yún)^(qū)、薄膜生長區(qū)和拋光區(qū)6個生產(chǎn)區(qū)域：
①擴散區(qū)是進行高溫工藝及...
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