當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

鳥嘴效應造成的不良影響有（）。

硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項？（）

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結(jié)合來實現(xiàn)圖形的轉(zhuǎn)移？（）

刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。

摻雜后退火時間一般在（）。

如下哪個選項不是半導體器件制備過程中的主要污染物？（）

注入損傷與注入離子的以下哪個參數(shù)無關(guān)？（）

下面哪些元素屬于半徑較小的雜質(zhì)原子？（）

光刻工藝對準誤差包括（）。