問答題

答案：改變半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型，形成N型層或P型層，以形成雙極型晶體管及各種二極管的PN結(jié)，或改變材料電導(dǎo)率；摻雜可與外延生長同時...

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答案：用等離子體對薄膜線條進行刻蝕的一種新技術(shù)。
分為等離子體刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕RIE、磁增強反應(yīng)離子刻蝕、高密度等...

答案：

刻蝕即光刻腐蝕，就是通過光刻將光刻膠進行光刻曝光處理，然后通過其他方式實現(xiàn)腐蝕以處理掉所需除去的部分。