問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】離子注入法有哪些優(yōu)點(diǎn)？

答案：摻雜的過(guò)程可通過(guò)調(diào)整雜質(zhì)劑量及能量來(lái)精確控制雜質(zhì)分布，可進(jìn)行小劑量和極小深度的摻雜較低的工藝溫度，故光刻膠可用作掩膜可供...

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【簡(jiǎn)答題】摻雜的目的是什么？摻雜在何時(shí)進(jìn)行？慘雜方法有哪幾種？

答案：改變半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型，形成N型層或P型層，以形成雙極型晶體管及各種二極管的PN結(jié)，或改變材料電導(dǎo)率；摻雜可與外延生長(zhǎng)同時(shí)...

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】什么是干法刻蝕？干法有幾種刻蝕方法？

答案：用等離子體對(duì)薄膜線條進(jìn)行刻蝕的一種新技術(shù)。
分為等離子體刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕RIE、磁增強(qiáng)反應(yīng)離子刻蝕、高密度等...