載片部分、接觸和調(diào)整部分、顯微鏡部分、控制部分
在測(cè)試臺(tái)上測(cè)試
對(duì)于處于研究階段的芯片,特別是模擬集成電路和模/數(shù)混合信號(hào)集成電路非常有效,可以大大節(jié)省時(shí)間