問答題

【簡答題】離子注入主要部件有哪些？

答案：

有離子源、磁分析器、加速器、掃描器、偏束板和靶室。
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問答題

【簡答題】離子注入后為何退火？
答案： 因為大部分注入的離子并不是以替位形式處在晶格點陣位置上，而是處于間隙位置，無電活性，一般不能提供導(dǎo)電性能，所以離子注入后...
問答題

【簡答題】離子注入后退火的作用是什么？
答案：

作用是激活注入的離子，恢復(fù)遷移率及其他材料參數(shù)。
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