問答題

【簡答題】例舉并描出旋轉涂膠的4個基本步驟。

答案： 1.分滴，當硅片靜止或者旋轉得非常緩慢時，光刻膠被分滴在硅片上
2.旋轉鋪開，快速加速硅片的旋轉到一高的轉速使...

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【簡答題】在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么？

答案：

一、將掩膜版圖案轉移到硅片表面頂層的光刻膠中
二、在后續(xù)工藝中，保護下面的材料

【簡答題】例出光刻的8個步驟，并對每一步做出簡要解釋。

答案：第一步：氣相成底膜處理，其目的是增強硅片和光刻膠之間的粘附性。
第二步：旋轉涂膠，將硅片被固定在載片臺上，一定數(shù)...