進行光刻工藝前的清洗步驟是（）。

當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項？（）

刻蝕工藝可以和以下哪個工藝結合來實現(xiàn)圖形的轉移？（）

鳥嘴效應造成的不良影響有（）。

新的平坦化方法有哪幾個？（）

芯片粘接的工藝過程包括（）。

下面哪個選項不是集成電路工藝用化學氣體質量的指標？（）

進行溝槽填充常用的金屬材料是（）。

多層陶瓷基板多層化的方法包括（）。