對(duì)于一些復(fù)雜的焊接任務(wù)，必須依靠焊接機(jī)器人與輔助設(shè)備作業(yè)過程中同步協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)，這需要用到（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

使用氦氣檢漏的原因是（）。

熔斷器長(zhǎng)期工作所能承受的電壓稱為額定電壓，如果熔斷器的時(shí)間工作電壓大于其額定電壓，熔體熔斷是可能會(huì)發(fā)生（）的危險(xiǎn)。

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

套簡(jiǎn)滾子鏈接頭采用大鏈節(jié)為開口銷式，小鏈節(jié)用卡簧式，其鏈節(jié)為（）。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。