問答題

【簡答題】什么是多層金屬化？它對芯片加工來說為什么是必需的？

答案：

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【簡答題】例舉并描述薄膜生長的三個階段。

答案：（1）晶核形成
分離的小膜層形成于襯底表面，是薄膜進一步生長的基礎(chǔ)。
（2）凝聚成束
形成...

【簡答題】什么是薄膜？

答案：薄膜：指某一維尺寸遠小于另外兩維上的尺寸的固體物質(zhì)。
好的臺階覆蓋能力、高的深寬比填隙能力（>3：...