最新試題
什么是硅化物?難熔金屬硅化物在硅片制造業(yè)中重要的原因是什么?
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解釋光刻膠選擇比。要求的比例是高還是低?
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解釋光刻膠顯影。光刻膠顯影的目的是什么?
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描述電子回旋共振(ECR)。
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例出光刻的8個(gè)步驟,并對(duì)每一步做出簡(jiǎn)要解釋。
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描述曝光波長和圖像分辨率之間的關(guān)系。
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刻蝕工藝有哪兩種類型?簡(jiǎn)單描述各類刻蝕工藝。
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例舉并解釋硅中固態(tài)雜質(zhì)擴(kuò)散的三個(gè)步驟。
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例舉出兩種光刻膠顯影方法。例舉出7種光刻膠顯影參數(shù)。
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在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么?
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