填空題在硅片上熱氧化0.5μm厚的氧化層時(shí),硅片增厚了()μm。
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3.多項(xiàng)選擇題關(guān)于鋁膜下列哪種說法正確?()
A.耐腐蝕性好
B.與硅接觸可能出現(xiàn)尖楔現(xiàn)象
C.抗電遷移性差
D.穩(wěn)定性好
4.多項(xiàng)選擇題
看圖判斷,下列哪種描述正確?()
A.圖(b)是注入的低能離子
B.圖(b)是注入的高能離子
C.圖(a)是注入的低能離子
D.圖(a)是注入的高能離子
5.多項(xiàng)選擇題擴(kuò)散系數(shù)是表征擴(kuò)散快慢的參數(shù),它相當(dāng)于單位濃度梯度時(shí)的擴(kuò)散通量,所以它()
A.單位為m2/s
B.有單位
C.無單位
D.單位為m/s
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光刻工藝對(duì)準(zhǔn)誤差包括()。
題型:多項(xiàng)選擇題
當(dāng)許多損傷區(qū)連在一起時(shí)就會(huì)形成連續(xù)的非晶層,開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為()。
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刻蝕過程中聚合物形成的來源有()。
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IC集成度和性能得以不斷提高的理論基礎(chǔ)是()。
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摻雜后退火時(shí)間一般在()。
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題型:多項(xiàng)選擇題