填空題低壓氣相外延能降低（）效應(yīng)，從而降低了外延時的雜質(zhì)再分布。

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1.多項選擇題關(guān)于鋁膜下列哪種說法正確？（）

A.耐腐蝕性好
B.與硅接觸可能出現(xiàn)尖楔現(xiàn)象
C.抗電遷移性差
D.穩(wěn)定性好

2.多項選擇題

看圖判斷，下列哪種描述正確？（）

A.圖（b）是注入的低能離子
B.圖（b）是注入的高能離子
C.圖（a）是注入的低能離子
D.圖（a）是注入的高能離子

4.多項選擇題?P在兩歩擴散工藝中，第二步再分布的同時又進行了熱氧化（kp=10），這會給再分布擴散帶來哪些影響？（）

A.P擴散速度加快
B.擴入Si的P總量下降
C.在SiO2/Si界面Si一側(cè)的P耗竭（是指低于SiO2一側(cè)）
D.在SiO2/Si界面Si一側(cè)的P堆積（是指高于SiO2一側(cè)）