單項(xiàng)選擇題刻蝕均勻性的衡量指標(biāo)是（）。

A.厚度偏差
B.面積偏差
C.深度偏差
D.以上都是


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1.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的自動(dòng)化程度主要體現(xiàn)在（）。

A.自動(dòng)上下料
B.自動(dòng)控制參數(shù)
C.自動(dòng)故障診斷
D.以上都是

2.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是影響刻蝕選擇性的因素（）？

A.材料結(jié)構(gòu)
B.刻蝕氣體濃度
C.刻蝕時(shí)間
D.刻蝕溫度

3.單項(xiàng)選擇題刻蝕機(jī)的分辨率與以下哪個(gè)因素?zé)o關(guān)（）？

A.光源波長(zhǎng)
B.鏡頭質(zhì)量
C.刻蝕氣體種類
D.樣品表面平整度

4.單項(xiàng)選擇題以下哪種刻蝕方法適用于大規(guī)模生產(chǎn)（）？

A.激光刻蝕
B.干法刻蝕
C.濕法刻蝕
D.三者均可

5.單項(xiàng)選擇題以下哪種不是刻蝕機(jī)的關(guān)鍵部件（）？

A.真空泵
B.氣體流量計(jì)
C.加熱裝置
D.冷卻裝置