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問答題
【簡(jiǎn)答題】例舉并描述IC生產(chǎn)過程中的5種不同電學(xué)測(cè)試。
答案:
IC生產(chǎn)過程中的5種不同電學(xué)測(cè)試:
(1)IC設(shè)計(jì)驗(yàn)證:描述、調(diào)試和檢驗(yàn)新的芯片設(shè)計(jì),保證符合規(guī)格要求,是在生...
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【簡(jiǎn)答題】給出使用初級(jí)泵和真空泵的理由。
答案:
當(dāng)真空里的壓強(qiáng)減低時(shí),氣體分子間的空間加大了,這成為氣體流過系統(tǒng)及在工藝腔內(nèi)產(chǎn)生等離子體的重要因素。而初級(jí)泵可以去除腔內(nèi)...
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【簡(jiǎn)答題】例出并描述4種真空范圍。
答案:
四種真空范圍:
(1)低級(jí)真空:氣流主要是由分子間碰撞產(chǎn)生的(也稱滯留),壓強(qiáng)高得足以機(jī)械型壓力測(cè)量?jī)x測(cè)量。
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【簡(jiǎn)答題】解釋投射電子能顯微鏡。
答案:
TEM把加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上,電子與樣品中的電子碰撞而電子與樣品中的原子的碰撞而改變方向,從而產(chǎn)生立體...
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【簡(jiǎn)答題】硅片關(guān)鍵尺寸測(cè)量的主要工具是什么?
答案:
硅片關(guān)鍵尺寸測(cè)量的主要工具是掃描電子顯微鏡(SEM),它能放大10萬到30萬倍,這明顯高于光學(xué)顯微鏡,用掃描電子顯微鏡觀...
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【簡(jiǎn)答題】給出半導(dǎo)體質(zhì)量測(cè)量的定義。例出在集成電路制造中12種不同的質(zhì)量測(cè)量。
答案:
半導(dǎo)體質(zhì)量測(cè)量定義了硅片制造的規(guī)范要求,以確保滿足器件的性能和可靠性。
集成電路制造中的12種不同的質(zhì)量測(cè)量:<...
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【簡(jiǎn)答題】什么是外延層?為什么硅片上要使用外延層?
答案:
外延層是指在硅的外延中以硅基片為籽晶生長一薄膜層,新的外延層會(huì)復(fù)制硅片的晶體結(jié)構(gòu),并且結(jié)構(gòu)比原硅片更加規(guī)則。外延為器件設(shè)...
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【簡(jiǎn)答題】將圓柱形的單晶硅錠制備成硅片需要哪些工藝流程?
答案:
整形處理,切片,磨片和倒角,刻蝕,拋光,清洗,硅片評(píng)估,包裝。
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【簡(jiǎn)答題】例舉得到半導(dǎo)體級(jí)硅的三個(gè)步驟。半導(dǎo)體級(jí)硅的純度能達(dá)到多少?
答案:
第一步:用碳加熱硅石來制備冶金級(jí)硅
第二步:通過化學(xué)反應(yīng)將冶金級(jí)硅提純以生成三氯硅烷
第三步:利用西...
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【簡(jiǎn)答題】什么是CMOS技術(shù)?什么是 ASIC?
答案:
CMOS(互補(bǔ)型金屬氧化物半導(dǎo)體)技術(shù):將成對(duì)的金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)集成在一塊硅片上。使集成電路...
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【簡(jiǎn)答題】什么是無源元件?例舉出兩個(gè)無源元件的例子。什么是有源元件?例舉出兩個(gè)有源元件的例子。
答案:
無源元件:在不需要外加電源的條件下,就可以顯示其特性的電子元件。這些元件無論如何和電源相連,都可以傳輸電流。如電阻,電容...
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