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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】例舉并描述IC生產(chǎn)過(guò)程中的5種不同電學(xué)測(cè)試。
答案:
IC生產(chǎn)過(guò)程中的5種不同電學(xué)測(cè)試:
(1)IC設(shè)計(jì)驗(yàn)證:描述、調(diào)試和檢驗(yàn)新的芯片設(shè)計(jì),保證符合規(guī)格要求,是在生...
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】給出使用初級(jí)泵和真空泵的理由。
答案:
當(dāng)真空里的壓強(qiáng)減低時(shí),氣體分子間的空間加大了,這成為氣體流過(guò)系統(tǒng)及在工藝腔內(nèi)產(chǎn)生等離子體的重要因素。而初級(jí)泵可以去除腔內(nèi)...
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【簡(jiǎn)答題】例出并描述4種真空范圍。
答案:
四種真空范圍:
(1)低級(jí)真空:氣流主要是由分子間碰撞產(chǎn)生的(也稱滯留),壓強(qiáng)高得足以機(jī)械型壓力測(cè)量?jī)x測(cè)量。
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