半導(dǎo)體材料問答題每日一練(2019.04.24)

問答題
半導(dǎo)體工藝技術(shù)的主要摻雜工藝包括哪兩種？
答案：
擴(kuò)散和離子注入
問答題
立式爐系統(tǒng)的五部分是什么？例舉并簡單描述？
答案：工藝腔、硅片傳輸系統(tǒng)、氣體分配系統(tǒng)、尾氣系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)
工藝腔是對硅片加熱的場所，由垂直的石英罩鐘、多區(qū)加熱電...
問答題
在硅片制造中光刻膠的兩種目的是什么？
答案：
一，將掩膜版圖案轉(zhuǎn)移到硅片表面頂層的光刻膠中
二，在后續(xù)工藝中，保護(hù)下面的材料
問答題
金相顯微鏡的構(gòu)成？
答案：由光字系統(tǒng)，照明系統(tǒng)，機(jī)械系統(tǒng)三部分組成。
問答題
給出投影掩模板的定義。投影掩模板和光掩模板的區(qū)別是什么？
答案：投影掩膜版是一種透明的平板，在它上面有要轉(zhuǎn)印到硅片上光刻膠層的圖形。投影掩膜版只包括硅片上一部分圖形，而光掩膜版包含了整...