單項選擇題PI工程一共進(jìn)行幾次OVEN（）

A.1
B.2
C.3
D.4


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1.單項選擇題PR成分中，除Resin/sensitizer/additives外，還有什么（）

A.酒精
B.NEGA
C.POSI
D.Solvent

2.單項選擇題PHOTO工程曝光機設(shè)備構(gòu)造中，不包含的是（）

A.照明光學(xué)系
B.投影光學(xué)系
C.MASK STAGE
D.除震系統(tǒng)

3.單項選擇題在Gate Step中，得到Gate Pattern的順序是（）

A.Cleaning->Gate Depo->Photo->WET Etch
B.Cleaning->Gate Depo->Photo->DRY Etch
C.Gate Depo->Cleaning->Photo->WET Etch
D.Cleaning->Photo->Gate Depo->WET Etch

4.單項選擇題PHOTO設(shè)備中VCD的作用是（）

A.涂布光刻膠
B.清洗glass基板
C.加熱干燥，去除光刻膠里面的solvent
D.真空干燥，去除光刻膠里面的solvent

5.單項選擇題PHOTO工程最主要的三個Process是（）

A.Clean，Coating，Develop
B.Depo，PHOTO，WET Etch
C.Coating，Exposure，Develop
D.Exposure，Develop，IR Oven