單項選擇題在已擴散結深達0.8μm的p-Si上再進行濕氧，氧化層厚0.2μm時，結深是多少（）

A.0.6μm
B.0.712μm
C.0.512μm
D.0.088μm


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2.多項選擇題關于離子注入?yún)^(qū)形成非晶層的臨界劑量，下面哪幾種說法正確（）

A.靶溫升高，臨界劑量上升
B.注入離子越輕，臨界劑量越小
C.注入離子劑量率增大，臨界劑量降低
D.注入離子能量越高，臨界劑量越低

3.多項選擇題擴散系數(shù)在何時不可以看成是常數(shù)（）

A.在本征硅上擴散摻入中等濃度的雜質硼
B.在重摻雜p型硅上擴散摻入n型雜質
C.在中等濃度p型硅上擴散摻入n型雜質
D.在本征硅上擴散摻入高濃度的雜質硼，同時進行氧化