A、材料本身不純,有雜質(zhì) B、預(yù)熔時(shí)沒(méi)熔透,鍍膜時(shí)有飛濺 C、光斑打到邊緣或外邊,將其它物質(zhì)鍍到鏡片上 D、坩堝蓋板太臟,預(yù)熔時(shí)有膜料殘?jiān)暨M(jìn)坩堝
(1)真空蒸鍍 (2)電鍍 (3)化學(xué)反應(yīng) (4)熱處理 (5)物理或機(jī)械處理
A、使同圈的膜層厚度分布均勻 B、使內(nèi)外排膜層厚度分布均勻 C、使同圈溫度分布均勻 D、使內(nèi)外排溫度分布均勻
A、各類泵油使用時(shí)間太長(zhǎng),已變質(zhì) B、POLYCOLD有問(wèn)題 C、真空室的清潔不到位 D、機(jī)器有漏氣
主要目的是快速冷卻,由于氬氣是不活潑性氣體,很難與離子源部件發(fā)生氧化。