問(wèn)答題哪種化學(xué)氣體通常用來(lái)刻蝕多晶硅,為什么這種化學(xué)氣體替代了氟基化學(xué)氣體?
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3.問(wèn)答題列出在干法刻蝕中發(fā)生刻蝕反應(yīng)的六種方法?
5.問(wèn)答題干法刻蝕有高的還是低的選擇比?
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