人們通常把能夠從密閉容器中排出氣體或使容器中的氣體分子數(shù)目不斷減少的設備稱為真空獲得設備或真空泵。

在電離真空計中，電子在飛行路途中產生的正離子數(shù)，正比于氣體密度n，在一定溫度下正比于氣體的壓力p。因此，可根據(jù)離子電流的大小指示真空度。

CVD 工藝希望反應氣體以湍流的形式流動。

界面張力的大小反映界面熱力學的穩(wěn)定性。

簡述真空蒸鍍的原理。

共價晶體不需考慮長程力的作用，表面能（Er）即是破壞單位面積上的全部鍵所需能量之一半：Er=1/2E 鍵。

簡述熱電偶真空規(guī)測量原理。

強制對流是自流體因溫度或濃度所產生的密度差所導致的。

MoSi2宜在低于1000℃下長時間使用。

利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關，元件的溫度又與氣體的熱傳導有關，熱傳導量又與壓力成反比的原理來測量真空度的真空計。