當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

對于影響成膜的異常放電發(fā)生時，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項是（）。

UTM300B 泵的特點是什么（）？

定期應(yīng)該對變頻器進(jìn)行除塵，重點是變頻器散熱翅片、變頻器主線接線端子排、變頻器（）。

下列屬于熱陰極電離真空計的是（）。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點是什么（）？

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

離子濺射泵優(yōu)點是什么（）？