①金屬-絕緣體-金屬(MIM)結(jié)構(gòu); ②多晶硅/金屬-絕緣體-多晶硅結(jié)構(gòu); ③金屬叉指結(jié)構(gòu); ④PN結(jié)電容; ⑤MOS電容。
(1)機械支撐和機械保護作用。 (2)傳輸信號和分配電源的作用。 (3)熱耗散的作用。 (4)環(huán)境保護的作用。
(1)擦洗表面的大塊污物;(2)浸泡;(3)化學腐蝕;(4)水清洗;(5)干燥。