多項選擇題CVD基本過程包括（）。

A.在表面進行化學反應，在表面淀積成薄膜
B.副產物脫離吸附
C.脫吸副產物逸出反應室
D.反應劑傳輸至襯底表面，反應劑吸附在表面


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1.多項選擇題?CVD薄膜有哪些應用？（）

A.鎢塞
B.鈍化層
C.層間介質BPSG

2.多項選擇題?CVD技術可以制備的薄膜有（）。

A.SiO2
B.單晶硅
C.BSG
D.Si3N4

3.多項選擇題?濺射方法從本質上可分為（）。

A.反應濺射
B.直流濺射
C.磁控濺射
D.射頻濺射

4.多項選擇題?集成電路制造技術中，薄膜制備技術主要包括兩大類（）。

A.薄膜生長技術
B.薄膜淀積技術
C.薄膜外延技術
D.薄膜堆疊技術

5.單項選擇題與真空蒸發(fā)相比，濺射薄膜的臺階覆蓋性好，關鍵在于（）。

A.濺射工藝重復性好
B.濺射角度大
C.濺射工藝復雜
D.濺射原子遷移能力強