單項選擇題?以下哪一項不屬于擴散的局限性?()

A.工藝簡單
B.高溫、深結
C.不能獨立控制結深和濃度
D.橫向擴散


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1.單項選擇題擴散的雜質分布包括()和有限表面源分布。

A.無限表面源分布
B.雜質總量分布
C.恒定表面源分布
D.表面源分布

2.單項選擇題根據擴散系數的定義,其受以下哪個因素的影響最大?()

A.雜質類型
B.擴散時間
C.雜質激活能
D.溫度

3.單項選擇題擴散的微觀機制包括間隙式擴散和()。

A.面擴散
B.均勻擴散
C.梯度擴散
D.替位式擴散

4.多項選擇題氧化硅在集成電路制造中有哪些應用?()

A.屏蔽層
B.柵氧化層
C.犧牲層
D.襯墊層

5.單項選擇題?下列哪種工藝所制備的氧化層質量最好?()

A.水汽氧化
B.干氧氧化
C.濕氧氧化
D.化學氣相淀積