Ni-Cr 和Fe-Cr-Al 合金電熱體的工作溫度是1000℃至1300℃。

CVD 技術(shù)中通過沉積反應(yīng)易于生成所需要的材料沉積物，而沉積物均易揮發(fā)而留在氣相排出或易于分離。

簡述熱電偶真空規(guī)測量原理。

CVD 裝置通?？梢杂蓺庠纯刂撇考?、沉積反應(yīng)室、沉積溫控部件、真空排氣和壓強(qiáng)控制部件等部分組成。

光學(xué)高溫計只要選取一定的波長，通常選λ=0.78μm。

簡述真空蒸鍍的原理。

高壓合成，就是利用外加的高壓力，使物質(zhì)產(chǎn)生多型相變或發(fā)生不同物質(zhì)間的化合，而得到新相、新化合物或新材料。

簡述玻璃真空系統(tǒng)漏氣的原因及防漏措施。

CVD 工藝希望反應(yīng)氣體以湍流的形式流動。

空氣中鉑的使用溫度為1500℃，能在氧分壓等于0.1MPa 下使用。