半導體芯片制造工章節(jié)練習(2019.06.25)

來源:考試資料網(wǎng)
參考答案:擴散效應是指襯底中的雜質與外延層中的雜質,在外延生長時互相擴散,引起襯底與外延層界面附近雜質濃度的緩慢變化。擴散效應對界...
參考答案:結晶形SiO2——由Si-O四面體在空間規(guī)則排列構成每個頂角的O原子與兩個...
參考答案:固相外延是指半導體單晶上的非晶層在低于該材料的熔點或共晶點溫度下外延再結晶的過程。固相外延存在問題—&mda...
參考答案:是否均勻;是否致密;斑點;白霧;無針孔