半導(dǎo)體芯片制造工半導(dǎo)體芯片制造高級(jí)工章節(jié)練習(xí)(2019.05.03)

來(lái)源:考試資料網(wǎng)
參考答案:

常壓化學(xué)氣相淀積(APCVD.,
低壓化學(xué)氣相淀積(LPCVD.,
等離子體輔助CVD。

4.問(wèn)答題什么叫晶體缺陷?
參考答案:

晶體機(jī)構(gòu)中質(zhì)點(diǎn)排列的某種不規(guī)則性或不完善性。又稱(chēng)晶格缺陷。